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  • 檢索結果:共2筆資料 檢索策略: "氮化鎵".ckeyword (精準) and ckeyword.raw="垂直共振腔面射型雷射" and ckeyword.raw="矽擴散"


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    研究氮化鎵垂直共振腔面射型雷射之共振腔的端面處理
    • 電子工程系 /111/ 碩士
    • 研究生: 張哲嘉 指導教授: 葉秉慧
    • 本研究旨在探討乾式以及濕式蝕刻對於VCSEL共振腔端面的影響。透過兩種商用矽基板磊晶生長的氮化鎵LED晶圓,我們成功研製出了改善共振腔端面粗糙度的方法,使用KOH和UVO製程,成功將共振腔端面的表面…
    • 點閱:185下載:0
    • 全文公開日期 2025/07/28 (校內網路)
    • 全文公開日期 2025/07/28 (校外網路)
    • 全文公開日期 2025/07/28 (國家圖書館:臺灣博碩士論文系統)

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    以氮化鎵磊晶於矽基板的發光二極體晶圓研發垂直共振腔面射型雷射
    • 電子工程系 /111/ 碩士
    • 研究生: 李敏宏 指導教授: 葉秉慧
    • 在過去,本實驗室是以氮化鎵磊晶於藍寶石基板(GaN-on-Sapphire)的晶圓,並搭配客製化的磊晶式DBR與介電質DBR做為下上反射鏡,成功製作出垂直共振腔面射型雷射(Vertical-cavi…
    • 點閱:238下載:0
    • 全文公開日期 2025/07/28 (校內網路)
    • 全文公開日期 2025/07/28 (校外網路)
    • 全文公開日期 2025/07/28 (國家圖書館:臺灣博碩士論文系統)
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